热压烧结炉的调试是一个系统性工程,需严格遵循标准化流程以确保设备性能与工艺稳定性。以下是基于行业实践的调试要点阐述:
一、安装与机械系统检查
- 设备就位与固定
根据平面布置图完成设备定位,固定机械泵时需采用阻尼橡胶板减震,避免运行时振动影响精度。核对所有附件与装运清单一致性,确保真空管道、阀门连接密封性。
- 液压与传动系统调试
检查液压缸升降灵活性,通过手动调节压力传感器和位移显示器(精度达0.02mm),验证加压过程的平稳性。需特别注意比例阀响应速度与压力稳定性,避免加压冲击导致样品变形。
二、电气与真空系统联调
- 真空系统测试
启动机械泵后,按序开启罗茨泵、扩散泵,监测真空度变化。需达到6×10⁻²Pa的高真空环境方可进入加热阶段。建议抽真空后静置24小时检测泄漏率。
- 温控系统校准
采用PID功能仪表控温,测试超温报警功能。热电偶需自动进出定位,避免接触加热元件造成短路。
三、加热与加压工艺验证
- 升温程序测试
以≤5℃/min的速率升温至1600℃,持续4小时以上观察温度均匀性。对于新炉体,需在400℃进行氧化处理以延长耐火材料寿命。
- 双向加压操作
手动预压后切换自动加压模式,以0.1MPa/次的梯度缓慢升压,通过光栅尺监测位移变化。石墨电极与绝缘屏间距需精确调整,防止局部放电。
四、安全联锁与应急机制
- 多重保护测试
验证断水、断电、超温时的自动联锁响应。强制切断冷却水模拟故障,确认加热系统立即终止。
- 泄压与冷却规范
保压结束后需待炉温降至60℃以下方可破空,扩散泵表面温度需≤30℃才能关闭。