真空烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡（润滑剂或成形剂）、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行的控制。

　　真空烧结炉也具有润滑剂烧除、预烧结及高温烧结的功能。润滑剂含量多的压坯可先在一般炉中烧除，然后再在真空炉内烧结。

　　真空烧结炉内部通常是由加热部分和隔热保温两部分组成的烧结区。加热形式有电热元件（如碳管、碳棒）加热、中频感应加热两种。炉子的冷却采用水夹套冷却。为了加速冷却，可向炉内通入氢、氮、氩等气体。

　　真空烧结炉的温度控制系统的规格是什么：

　　1、温度控制：PID自动控制温度，数字显示（可编程度30段曲线；全自动升温、保温、降温）上限报警、偏差报警、程序运行结束自动停止、无需人值守（可做成一键抽真空升降温，全程PLC控制）

　　2、温控仪表线性电流输出，触发器移相触发反并联双向可控硅。

　　3、控温热电偶采用S分度热电偶

　　4.警报动作：

　　①超温报警：炉内温度上升达到报警温度时，自动切断电源，报警提示灯亮。

　　②断偶报警：热电偶开路，仪表报警并自动断电。